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电子工业专用设备

电子工业专用设备Equipment for Electronic Products Manufacturing 전자공업전용설비

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本刊为国内外公开发行的技术性刊物,以报道半导体设备及半导体产业链技术与材料为主要方向,以“公布新的科技成就,传播科技信息,交流学术思想,促进科技成果的商品化、产业化,为建设社会主义精神文明与物质文明服务”为本刊的办刊宗旨。发挥传媒优势,全方位服务于微电子行业的广大科技工作者。

中国电子科技集团公司第四十五研究所

葛劢翀

双月刊

中文

1004-4507

62-1077/TN

010-64443110,64655251
100029
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
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2018年5期
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段杨杨 谭伟 李兰侠 蒋小娟 刘红杰 成兴明 范丹丹
高爱梅 张永昌 邓胜强
李燕玲 黄鑫亮 王勇威 郭立刚 王文丽 夏楠君
秦伟亮 常耀辉 戚红英 窦连水
邢友翠 闫萍 刘玉岭 李万策
M. Liebens J. Slabbekoorn A. Miller E. Beyne M. Stoerring S. Hiebert A. Cross

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