硅晶片电阻率测量技术的研究

摘要：

分析了硅晶片电阻率测试的重要性并介绍了国内外常用的电阻率测试方法,并对使用最广泛的工艺检测手段- 四探针技术的原理、测准条件及发展状况进行了详细的介绍.

关键词：硅单晶片、电阻率、四探针测试法

分类号：TN307(半导体技术)

在线出版日期：2019-08-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：45-49