355nm 紫外激光抛光工艺参数对蓝宝石表面粗糙度的影响

摘要：

通过用波长为355nm的紫外激光对蓝宝石进行抛光,利用激光共聚焦扫描仪测量抛光后的表面粗糙度Ra,并结合抛光前后蓝宝石表面微观形貌特征观测,研究紫外激光脉冲能量、激光光束扫描速度、激光重复频率及激光光束入射角等工艺参数对蓝宝石表面粗糙度Ra的影响规律.

关键词：紫外激光、激光抛光、抛光、工艺参数、表面粗糙度

分类号：TN23(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2013-04-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：17-20