近十几年来微机械技术的发展及应用

摘要：

文章立足纳米技术的发展背景,介绍了纳米技术、微机械产生的背景、微机械动力学的主要研究内容以及微机械动力学研究的意义.在此基础上,回顾和总结了近年来国内外在多学科耦合大规模动力学模拟、动力学尺度效应分析、纳米机械的动力学模拟等微机械动力学方面的研究进展,并分析了微机械动力学研究不同于宏观机械的方面.

关键词：纳米机械、微型机械技术、动力学、微传感器

分类号：TP2;TH7

在线出版日期：2017-06-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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