自组装Ge/Si量子点的研究进展

摘要：

回顾与总结了该实验室对自组装Ge/Si(001)量子点的近期研究进展.着重介绍了生长在Si(001)衬底上的Ge量子点的形貌演变过程;多层Ge量子点的结构分析;Ge量子点结构的光学电学性质的表征;以及提高Ge量子点尺寸和分布均匀性的各种方法.

关键词：量子点、SiGe材料、Si基光电子学

所属期刊栏目：14

分类号：TN3(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金G200036603

在线出版日期：2004-04-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：28-33