衬底温度对铝掺杂氧化锌薄膜生长及其微结构性能的影响

摘要：

以铝掺杂氧化锌（ ZnO：Al）陶瓷靶作为溅射材料，采用RF磁控溅射技术，在玻璃衬底上制备了ZnO：Al半导体薄膜，通过X射线衍射（ XRD）测试研究了衬底温度对ZnO：Al薄膜生长特性及其微结构性能的影响。研究表明：衬底温度对薄膜生长和微结构均具有明显的影响；随着衬底温度的升高，薄膜（002）晶面取向度和平均晶粒尺寸表现为先增大后减小的变化趋势，而半高宽、微应变和位错密度则呈现出先减小后增大的变化趋势。当衬底温度为650 K时，ZnO：Al薄膜具有最高的（002）晶面取向度、最大的晶粒尺寸、最窄的半高宽、最低的微应变、最小的位错密度，其结晶性能和微结构性能最佳。

关键词：氧化锌、薄膜、X射线衍射、微结构

分类号：TM914

资助基金：湖北省自然科学基金资助项目2011CDB418

在线出版日期：2015-11-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：72-78