运用统计分析工具解决质量问题

摘要：

@@ 一、引言
中科院微电子中心的半导体生产前工艺线在贯彻ISO9002质量保证体系中,建立了一套闭环的统计过程控制(SPC)系统,利用控制图、工艺能力指数等手段来监视、评价半导体生产过程的运行状况.同时,还积极运用统计分析工具(如柏拉图、线形曲线拟合、相关性等)对一些质量问题进行分析,找出问题的根源,并以此加强相关参数的SPC控制,以预防类似现象的再次出现.

机标关键词：统计分析、质量问题、运用统计、分析工具

分类号：F2(经济计划与管理)

在线出版日期：2004-09-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：19-20