电容薄膜真空规校准方法的研究

摘要：

本文利用电容薄膜真空计校准装置、高精度数字压力计、稳压电源和数字多用表,采用比较法完成了对(1～1000)Torr绝压电容薄膜真空规的量值溯源,扩展不确定度为U=(0.69％～0.02％)(k=2).

关键词：电容薄膜真空规、数字压力计、数字多用表

分类号：TB771;TH813;TM933

资助基金：基于真空衰减法的阳性样品校准装置的研制E00RY2210

在线出版日期：2023-03-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：34-37