氦质谱分流检漏技术研究

摘要：

从氦质谱的分流检漏原理,讨论真空箱氦质谱分流检漏系统的标定,通过实验分析大、小分流检漏技术,以及主抽时间对检漏系统的影响.

关键词：氦质谱检漏、分流检漏、信噪比

分类号：TM6;TK2

资助基金：国家重大科学仪器设备开发专项2012YQ220084

在线出版日期：2017-01-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：19-21