微机电系统(MEMS)中薄膜力学性能的研究

摘要：

主要介绍微机电系统(MEMS)中几种测量薄膜力学性能的方法,如纳米压入法、单轴拉伸法、基底弯曲法、微旋转结构法,比较了各种方法的优缺点.这对MEMS器件的设计与研究具有重要意义.

关键词：薄膜、力学性能、微旋转结构法、MEMS

分类号：TP3(计算技术、计算机技术)

资助基金：国家基金青年基金60301006;福建省自然科学基金A0310012;国家留学基金

在线出版日期：2007-06-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：49-51