降低电感接触式测量仪系统误差的方法研究

摘要：

本文分析了传统电感接触式测量仪的系统误差,提出了一种基于垂直位移扫描工作的表面轮廓综合测量仪的整体设计方案,克服了接触式测量仪的大量程和高精度之间的矛盾,给出了实际测量结果.

关键词：电感接触式测量仪、非线性、杠杆、测量力

分类号：TM93

在线出版日期：2006-10-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：48-51