微机电传感技术在新应用中的突破

摘要：

@@ 近来在传感器和仪器领域中的一个重要趋势是传感技术有了许多新的应用.原先为一个特定应用目标设计的传感器和它的各种技术正在大量用于其他场合,这些应用场合是早先没有想到的.这一突破主要由微机电(MEMS) 传感技术的成长与发展开始的.最初,在传感器领域使用微机电技术的目的是生产出更小更好的传感器,例如最初用于汽车的MEMS 加速度计和压力传感器,用于触发气囊释放和监测轮胎压力.

机标关键词：微机电技术、传感技术、新应用、New、Technology、压力传感器、应用场合、目标设计、轮胎压力、MEMS、仪器、释放、汽车、气囊、监测、触发、产出

所属期刊栏目：17

分类号：TP2;TN4

在线出版日期：2011-09-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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