磷扩散过程近基区杂质Ga重新分布行为研究

摘要：

应用扩展电阻(SRP)分析方法,研究了磷再分布过程近基区杂质Ga的重新分布状态,近而明确经二次高温扩散之后,Ga在Si中的最终分布行为.

关键词：Ga、重新分布、最终分布

所属期刊栏目：7

分类号：TN305.4(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金;山东省自然科学基金

在线出版日期：2007-07-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：1454-1456