“纳米制造的基础研究”重大研究计划结题综述

摘要：

国家自然科学基金委员会重大研究计划“纳米制造的基础研究”历时8年于2018年完成结束评估.重大研究计划实施过程中,在基础理论方法、关键技术、核心仪器装备、典型工程示范应用等几个层面取得了系列集成成果.本文概述了该计划在亚纳米材料去除机理、纳米尺度结构成形、跨尺度批量化制造的原理与方法、系列纳米制造装备国产化等关键技术上所取得的一系列具有重大国际影响的突破性进展.文中展望了纳米制造研究的发展态势,提出了未来关注的重点学术方向.

关键词：纳米制造、纳米精度、纳米尺度、跨尺度、纳米制造装备、基金委重大研究计划

所属期刊栏目：33

分类号：F0-0;TB383;G311

在线出版日期：2019-06-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共14页

页码：261-274