石墨舟印EL发黑异常原因及解决措施

摘要：

本文基于目前晶硅SE-PERC电池生产工艺,针对管式PECVD石墨舟印EL发黑产生的原因验证分析及提出解决措施.研究结果表明,石墨舟清洗机、烘干机杂质尤其是金属杂质污染石墨舟,石墨舟长时间呆滞暴露在环境中吸附杂质和水分,石墨舟工艺过程中出现真空泵突然停止粉尘喷舟,均会导致电池片石墨舟印EL发黑异常的产生;识别这些因素并制订相应管控措施,可以避免产生石墨舟印EL发黑,提升产品良率.

关键词：SE-PERC、管式PECVD、石墨舟印、EL发黑

分类号：TK514(特殊热能及其机械)

在线出版日期：2023-02-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：75-78