激光全息干涉测量技术的专利技术综述

摘要：

一般光学干涉计量只能测量形状简单、表面光洁度很高的物体,而全息干涉测量方法则能对任意形状、任意粗糙表面的物体进行测量,测量精度为光波波长级.由于全息图具有三维性质,使用全息技术可以从不同视角通过干涉量度去考察一个形状复杂的物体.因此,鉴于其在测量领域具有非常重要的作用,本文主要针对其专利申请和分布等情况进行分析.

关键词：全息干涉、激光、专利

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2017-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：245-246