多晶硅装置用氢气压缩机设计分析

摘要：

生产出符合太阳能级或电子级要求的多晶硅要求氢气介质的纯度极高,不允许掺入任何杂质或其它气体.为保证多晶硅氢气压缩机工作时介质的纯度,使润滑油、水等杂质不与介质接触,本文在设计阶段开展了多晶硅氢气压缩机的密封、腐蚀等方面的研究工作,经过充分研究、论证和分析,得出了在设计阶段需要关注和解决的设计和工艺问题的关键所在,为设计满足使用要求的多晶硅氢气压缩机提供了保证.

关键词：多晶硅压缩机、填料、接筒、刮油器、冷却器

分类号：F4 ;TG1

在线出版日期：2015-11-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：31-32