新型单面阵自由曲面光学测量方法成像特性仿真

摘要：

本文提出一种新型单面阵自由曲面光学测量方法，利用环状球面内反射镜与半反半透镜构成T字型光路，完成单CCD面阵光线探测。该单面阵自由曲面光学测量方法结构紧凑，成本较多面阵光学测量方法大大降低，并能一定程序上减少物面倾斜造成的漏检。用ZEMAX软件对其探测器随系统结构参数的变化进行仿真分析，以得到最佳系统设计，从而缩短系统设计时间。

关键词：ZEMAX非序列仿真、激光三角法、物面形貌测量

分类号：DF4;D90

资助基金：福建省教育厅社会科学研究项目JA13449资助。

在线出版日期：2015-09-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：36-36