孔内表面粗糙度的光学非接触式测量

摘要：

本文针对内表面粗糙度测量过程中存在的操作空间受限制、仪器昂贵、破坏性测量成本高等问题,提出了一种基于反射式强度调制型光纤传感器(Reflective Intensity Modulation Fiber Optical Sensor,RIM-FOS)的测量方法,能够实现较小尺寸的孔内表面粗糙度的测量。文中用该光纤传感器实现了对Φ5mm、Φ10mm孔内表面粗糙度的测量,测量结果与TimeSurf TR220型触针式粗糙度仪的测量结果作了对比分析,结果表明本文提出的测量方法具有测量精度高和测量范围大的特点,在小尺寸零件内表面粗糙度的非破坏性测量方面具有良好的应用前景。

关键词：表面粗糙度、测量、光纤传感器、非接触式、内表面

分类号：TH7;TP2

在线出版日期：2014-03-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：105-106