MEMS运动分析仪在测量碳化硅谐振器谐振频率中的应用

摘要：

本次试验使用了美国UMECH公司的MEMS运动分析仪(MMA),使用过程中采集的谐振器图像为频率域数字散斑相关方法的实现提供了良好的实验样本.

关键词：MEMS、谐振器、图像采集

分类号：TB8;D91

在线出版日期：2011-07-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：73-74