硅片线切割后清洗去胶机研究

摘要：

本文介绍了硅片线切割后硅片的清洗去胶工艺以及全自动硅片预清洗机的概况、主要技术指标、工作原理和结构设计.并通过实验总结出该设备的清洗效果.

关键词：硅片、砂浆、清洗、粘胶

分类号：TB9

在线出版日期：2010-03-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：106-107