栅氧预清洗对栅氧可靠性的影响及机理研究

摘要：

随着科技的不断进步,器件的尺寸越来越小,栅氧完整性(gate oxide integrity,GOI)问题越来越凸显.本文研究由于栅氧预清洗工艺导致的栅氧化层工艺失效问题.在标准清洗工艺RCA中,SC1溶液的温度对栅氧有源区(active area,AA)拐角形貌影响较大.采用热SC1清洗溶液会在有源区拐角产生尖角异常,其主要是由于热SC1对硅衬底产生较大的刻蚀量所导致.由于有源区拐角处与溶液接触面积较少,热SC1对有源区拐角处硅刻蚀量少.最终有源区拐角栅氧化层厚度偏薄,导致栅氧可靠性失效.采用冷SC1溶液代替热SC1的清洗方式可以消除有源区拐角的尖角异常,栅氧可靠性失效点可以完全消除.

关键词：工业工程学、栅氧完整性、标准清洗工艺、失效、可靠性、栅氧击穿

所属期刊栏目：12

分类号：TB302(工程材料学)

在线出版日期：2021-11-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：857-864