PN结碰撞电离积分与外加偏压关系仿真研究

摘要：

从MEDICI软件中关于碰撞电离积分的Chynoweth模型出发,在Matlab中对碰撞电离积分与PN结外加反向电压的关系运用曲线拟合,得到了与MEDICI仿真结果更为吻合的Miller关系式.同时给出了掺杂浓度与Miller公式中S参数的经验表达式.通过对仿真结果进行分析,验证了这种仿真方法的正确性.

关键词：半导体技术、雪崩击穿、碰撞电离、数据拟合

所属期刊栏目：8

分类号：TN311+.1(半导体技术)

资助基金：高等学校博士学科点专项科研基金20110185110003

在线出版日期：2021-11-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1906-1909