一种全柔性压力传感阵列的设计与制作

摘要：

设计了一种基于柔性衬底和柔性压敏材料的压力传感器阵列.该4×4的柔性阵列采用光刻工艺制备,尺寸为2.5cm×2.5cm,衬底为聚对苯二甲酸乙二醇/铟锡氧化物(PET/ITO)柔性基板,压敏材料为导电橡胶(CSA57-7RSC PCR Technical).实验结果证明:该全柔性压力传感阵列在0～10 N的负载下呈现负压阻效应,具有高灵敏度和迅速响应恢复特性,能准确测知其感应到的力的大小和方位.该微型阵列可用于机器人仿生手领域.

关键词：敏感电子学、全柔性、压力传感器、阵列

所属期刊栏目：7

分类号：TP212.9(自动化技术及设备)

资助基金：高等学校博士学科点专项科研基金20110061110041

在线出版日期：2021-11-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1999-2002