考虑低能电子影响的二次电子修正模型

摘要：

随着微放电效应研究的不断深入,低能电子影响在微放电过程中越来越不可忽视.当前常用的微放电模型在处理低能电子问题上具有一定的局限性,为了精确模拟这一过程,在深入研究二次电子和背散射电子发射理论的基础上,分别针对材料表面条件不同引起的二次电子发射系数不确定性、低能电子的背散射系数以及电子入射角等问题进行了分析和讨论,并在此基础上建立了一个二次电子发射模型,最后通过数值计算讨论了模型的正确性和适用范围.这一模型同时考虑材料表面条件参数、低能电子的背散射系数以及入射角等因素影响,能够兼容较低能量电子的二次发射,提升微放电数值模拟的精确度和适用性,为微放电数值模拟的发展起到推进作用.

关键词：微放电效应、低能电子、二次电子发射模型、背散射电子、入射角

所属期刊栏目：37

分类号：TN011(一般性问题)

资助基金：国家自然科学基金 U1537211,11605135

在线出版日期：2017-05-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：32-38