微纳制造与测量的探索者和践行者——记西安交通大学机械工程学院教授杨树明

摘要：

激光核聚变装置、卫星用光学系统、大型天文望远镜、医疗影像设备等国家重大工程及国防尖端技术对高精度光学元件具有极大的需求,而光学元件表面质量的好坏则直接影响其长期稳定性、镀膜质量、使用寿命和激光损伤阈值等重要性能指标.光学干涉是表面质量检测最具潜力的方法之一,但是随着加工精度和效率的不断提高,光学干涉测量方法已经不能完全满足要求,亟须解决两方面的瓶颈问题:光学干涉测量容易受加工过程和环境噪声及振动等的影响;由于受衍射极限的限制,分辨率只能达到几百纳米.

机标关键词：机械工程学院、西安交通大学、微纳制造、学院教授、践行者、探索者

分类号：TH-4;I210.96;G649.284.1

在线出版日期：2018-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：66-67