一种应用于大视场形貌测量的宽带光干涉仪

周行王书敏徐舒成马剑秋雷李华高志山袁群

南京理工大学; 华东国家计量测试中心;上海市计量测试技术研究院;中国上海测试中心;

摘要：

干涉测试是一种高精度的表面形貌无损测量方法.通常情况下,单色光干涉测试以激光作为光源,采用缩小成像方案测量表面面形.宽带光干涉测试能够有效避免单色光干涉测试时的2π相位模糊问题,常与显微成像技术相结合,测量阶跃型结构的表面微观形貌.当阶跃型结构样品的横向尺寸较大时,宽带光显微测试需要采用拼接手段,降低了测量效率.本文提出了一种缩小成像的宽带光干涉仪,该仪器可用于大尺寸阶跃型表面的形貌测量,其工作波段为480～750 nm,采用1 inch探测器形成了47.60 mm×35.76 mm的测量视场.系统组成包括照明准直镜、干涉腔和成像镜.照明准直镜采用科勒照明方案,可以提供数值孔径NA=0.015、视场直…展开v

关键词：测量、形貌干涉测量、宽带光、大视场、光学设计

所属期刊栏目：50

分类号：O436(光学)

资助基金：国家重点研发计划;国家自然科学基金;国家自然科学基金;江苏省六大人才高峰项目;中国科学院重点实验室开放基金;上海在线检测与控制技术重点实验室基金

在线出版日期：2023-10-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：241-249