钝化层及P型基底结构优化对电子轰击型有源传感器电荷收集效率影响的研究

摘要：

为获得高增益的电子轰击型有源传感器(EBAPS),对EBAPS成像器件中电子倍增层的电荷收集效率的影响因素进行了研究.基于载流子输运理论,采用蒙特卡罗方法研究了钝化层种类、厚度、入射电子能量、P型基底厚度和掺杂浓度对二次电子分布及收集的影响.结果表明:为提高入射电子的入射深度进而提高电荷收集效率,宜采用密度小的SiO2作为钝化层;为了减少钝化层对倍增电子的复合进而提高电荷收集效率,宜降低钝化层厚度和提高入射电子能量;为了降低倍增电子扩散过程中载流子的复合进而提高电荷收集效率,宜降低P型基底的厚度和掺杂浓度.

关键词：材料、传感器、电子轰击有源像素传感器、均匀掺杂、电子倍增层、钝化层、电荷收集效率

所属期刊栏目：50

分类号：TN223(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金;吉林省教育厅科学技术研究规划重点项目;吉林省产业创新专项资金项目

在线出版日期：2023-10-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：232-240