靶场终端传输反射镜表面洁净控制技术研究

李养帅张严峰刘志刚周申蕾孙明营朱健强

中国科学院上海光学精密机械研究所;

摘要：

传输反射镜是高功率激光装置中连接主放大系统与靶场终端的关键组成部分,实现它的表面洁净控制尤为必要.本课题组基于风刀高速吹扫颗粒物去除技术,探究了开放式环境下,风刀安装高度、进气压力、出气口间隙、吹扫次数等工艺参数对靶场终端反射镜表面A1203、灰尘和不锈钢等颗粒物去除效率的影响,并从实验中捕捉到了颗粒物的动态运动轨迹.研究结果表明:提高进气压力可以提高颗粒物的去除效率;当风刀安装高度为4 mm、进气压力为1.5 MPa时,0.05 mm或0.1 mm的风刀出气口间隙均可实现90％以上的平均去除效率;当进气压力不高于1.2 MPa时,增加吹扫次数并不能提高颗粒物的去除效率;在去除过程中,颗粒物沿着高速气…展开v

关键词：光学器件、传输反射镜、洁净控制、颗粒污染物、风刀

所属期刊栏目：49

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：中国科学院战略性先导科技专项;中国科学院青年创新促进会项目

在线出版日期：2022-08-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：15-22