准分子激光器中放电冲击波的仿真研究

摘要：

分析了准分子激光器放电腔内放电冲击波能量来源的计算方法,利用Fluent软件对放电冲击波物理过程进行了二维仿真,揭示了300 μs内横向冲击波和纵向冲击波的演化过程,获得了此过程中气体速度、密度、压力和温度等关键参数的变化规律.对仿真结果进行分析,得出了高重复频率放电腔设计中应注意的关键位置以及处理方法,提出了选取放电腔尺寸和边界等参数时的参考依据.

关键词：激光器、准分子激光器、放电冲击波、数值仿真、放电腔设计

所属期刊栏目：47

分类号：TN248.2(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家科技重大专项2013ZX02202002

在线出版日期：2020-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：16-25