环形子孔径扫描锥形镜面形检测方法研究

严焱1卢云君2唐锋2王向朝2郭福东2

1.中国科学院上海光学精密机械研究所; 2.中国科学院大学;

摘要：

提出一种新的基于环形子孔径扫描的锥形镜面形测量方法,该方法可实现大口径、不同锥角的锥形镜面形的通用化测量.使用微动扫描台移动锥形镜,同时测量待测锥面法线方向若干环带的相位,提取有效像素并通过插值拼接得到被测锥形镜的面形.该方法可实现锥角大干96.4°的锥形镜面形的测量,测量口径可达100 mm以上,理论测量精度达到λ/4 PV(λ为波长;PV为峰谷值).使用ZYGO公司4英寸(1 inch=2.54 cm)的DynaFiz干涉仪对一个标称角度为140°的凸面锥形镜顶部的面形进行检测,被测样品旋转90°前后的面形检测结果与使用Taylor-Hobson公司LuphoScan轮廓仪检测结果一致,PV值相差…展开v

关键词：测量、干涉测量、面形检测、环形子孔径扫描、锥形镜、零位测试

所属期刊栏目：46

分类号：O436.1(光学)

资助基金：国家科技重大专项2017ZX02101006

在线出版日期：2019-12-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：219-228