脉冲激光沉积法制备低阻掺镓氧化锌薄膜及其光电性能

摘要：

采用脉冲激光沉积法在玻璃衬底上沉积掺镓氧化锌(GZO)透明导电薄膜,使用X射线衍射仪、紫外可见分光光度仪、原子力电子显微镜和霍尔测试系统,研究了氧气分压对GZO薄膜晶体结构、微观形貌以及光电性能的影响.结果 表明:所有的样品都表现出六方纤锌矿结构,并具有高度的c轴择优取向生长;薄膜表面致密光滑,晶粒尺寸随氧气分压增大而先增大后减小,当氧气分压为0.5 Pa时,薄膜的结晶性最佳;沉积的GZO薄膜在可见光区域表现出高于91.97％的透过率,且禁带宽度在3.492～3.576 eV之间;随着氧气分压增大,载流子浓度与霍尔迁移率先增加后减小,电阻率先减小后增大,当氧气分压为0.5 Pa时,GZO薄膜的电阻率最低,为2.95×10-4 Ω·cm.

关键词：薄膜、脉冲激光沉积法、氧气分压、掺镓氧化锌薄膜、光学性质、电学性能

所属期刊栏目：46

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金;广西壮族自治区科技开发项目;南宁市科技开发项目

在线出版日期：2019-12-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：204-210