飞秒激光直写铜微电极研究

摘要：

采用飞秒激光直写技术在预涂覆廉价铜离子涂层的柔性基体上通过激光还原得到纳米铜颗粒并原位连接形成导电结构,成功制得了具有优良导电性能的铜微电极.研究了不同激光功率及扫描速率对微电极形貌结构、导电性能的影响.结果 表明:在不损伤基体的条件下,随着辐照激光能量密度增大,铜微电极的导电性能明显提高;当激光功率为1210mW、扫描速度为1 mm/s时,所制备的微电极的成分主要为铜,导电性能较好,方阻达到2.74Ω·sq-1.该研究为发展低成本、高效率的柔性电极制造提供了一种新技术,并拓宽了纳米铜材料在电子行业的应用范围.

关键词：激光技术、微纳结构、原位还原、纳米连接、柔性电极

所属期刊栏目：46

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金;国家重点研发计划;中央高校基本科研业务费专项

在线出版日期：2019-12-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：190-195