皮秒激光烧蚀K9玻璃后表面损伤研究

摘要：

考察了利用皮秒激光烧蚀切割K9玻璃过程中后表面的烧蚀损伤现象,比较了前、后表面的烧蚀特性,分析了激光能量密度、扫描次数和扫描速度等因素对后表面损伤的影响.根据后表面烧蚀形貌和质量,优化了激光单行单次扫描时的激光能量密度和扫描速度等参数.讨论了后表面烧蚀损伤的机理,提出了抑制后表面损伤的方法.实验结果表明,激光聚焦在前表面进行烧蚀切割时,后表面会出现严重的烧蚀损伤,且后表面烧蚀形貌和规律与前表面的显著不同.

关键词：激光制造、后表面损伤、皮秒激光、烧蚀、K9玻璃

所属期刊栏目：44

分类号：O437(光学)

资助基金：国家重点实验室开放研究项目;中国科学院重点实验室开放基金

在线出版日期：2018-07-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：127-136