飞秒激光直写制备内嵌微透镜、能源器件及生物传感器的研究进展

摘要：

飞秒激光具有超短脉宽和极高峰值强度,已广泛应用于精细加工与微纳制造领域.目前,激光直写技术用于柔性器件的制备受到极大的关注.综述了激光直写技术的四个研究方向:1)激光直写微透镜用于广角成像;2)激光制备纳米金/还原氧化石墨烯微超级电容器;3)聚酰亚胺基体上多层超级电容器的制备;4)电容生物传感器的激光制备.同时介绍了本课题组开展的相关研究工作,可为激光直写制备微纳结构器件的研究与应用及未来发展方向提供参考.

关键词：激光制造、激光直写、飞秒激光、微透镜、超级电容器、柔性传感器

所属期刊栏目：44

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：科研启动基金;北京市重点项目;国家自然科学基金;教育部国家留学基金;美国能源部橡树岭国家实验室合作基金

在线出版日期：2018-07-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共11页

页码：21-31