退火氧压对Zn0.99Fe0.01O薄膜的结晶质量及其激光感生电压效应的影响

摘要：

采用脉冲激光沉积法(PLD)在AI2O3衬底上成功制备了Zn0.99Fe0.01薄膜,研究了退火氧压对Zn0.99Fe0.01O薄膜的晶体结构及其激光感生电压(LIV)效应的影响.X射线衍射仪分析结果表明,Zn0.99Fe0.01O具有六角纤锌矿结构,并且是沿”001”取向近外延生长.同时随着退火氧压的增大,薄膜的晶粒尺寸先增大后减小,退火氧压为2000 Pa时薄膜晶粒尺寸最大,结晶质量最好.另外在10°倾斜的Al2O3单晶衬底上制备的Zn0.99Fe0.01O薄膜在3000 Pa的退火氧压下可以观察到最大的LIV信号,达到79.5 mV.

关键词：薄膜、ZnO:Fe薄膜、激光感生电压、脉冲激光沉积、退火氧压

所属期刊栏目：38

分类号：O484(固体物理学)

在线出版日期：2011-07-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：177-181