无吸收模式滤波结构高亮度大功率宽条形半导体激光器

摘要：

提升宽条形半导体激光器水平方向激射光输出的光束质量,改善宽条形半导体激光器的工作特性,一直是大功率、高亮度宽条形半导体激光器器件工艺研究的难点.基于激射光在无源波导内的衍射原理制备宽条形半导体激光器的模式滤波结构,利用AlxNy绝缘介质薄膜应力使基底半导体材料带隙变化的原理制备无吸收无源波导.将两者结合,设计制备了带有无吸收模式滤波器结构的宽条形半导体激光器,使器件平均最大输出功率提高49%,垂直发散角达20.6°,水平发散角达3.3°,3500 h老化实验,其千小时退化率小于0.085%.

关键词：激光器、高亮度半导体激光器、模式滤波、无吸收无源波导、AIN、应力

所属期刊栏目：38

分类号：TN248.4(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家973计划6135602;武器装备基金9140C3102071002;吉林省科技厅项目资助课题

在线出版日期：2011-07-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：13-18