用傅里叶变换方法实现的纳米多层膜性能表征

摘要：

利用傅里叶变换(FFT)分析了纳米多层膜的X射线掠入射反射率测试曲线,模拟了各种制备和测试条件对多层膜结构参数测试结果的影响,检验了傅里叶变换方法的适用性和精确度.分析结果表明,相对于传统的反射曲线拟合方法,傅里叶变换方法具有直观和快速的优点,在不引入主观的膜层结构模型的情况下可以较为准确地定出复杂的多层膜结构参数,为多层膜结构表征提供了一种分析方法.

关键词：薄膜、纳米多层膜、傅里叶变换、自相关甬数、曲线拟合、界面

所属期刊栏目：36

分类号：O484.5(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金10435050,1067091,10675092;国家863计划2006AA12Z139;上海市科学技术委员会基金07DZ22302资助课题

在线出版日期：2009-10-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：2158-2165