减小正弦相位调制菲佐干涉仪多光束干涉影响的方法

摘要：

在利用正弦相位调制菲佐干涉仪进行测量时,由于菲佐板及待测物体表面对入射光的多次反射而产生多光束干涉,干涉信号的强度随相位变化不是严格的余弦分布.按照双光束干涉的算法进行相位信息提取,会引入一定的误差.以正弦相位凋制菲佐干涉仪纳米精度微小位移测量为应用背景,分析多光束干涉情况下该干涉仪信号解调算法的误差,进而对干涉仪的相关参数进行优化,并通过误差补偿对测量结果进行修正,有效减小了多光束干涉产生的影响.

关键词：测量、多光束干涉、参数优化、误差补偿、正弦相位调制

所属期刊栏目：36

分类号：TH744.3(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金60578051;上海市科委基础研究重点项目07JC14056资助课题

在线出版日期：2009-10-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：2115-2120