采用三线位置敏感探测器定位模型分析光斑对定位精度的影响

摘要：

在实际测量中,由于光斑具有一定尺寸和不对称性,在很大程度上影响了位置敏感探测器(PSD)的定位精度.根据激光光束高斯能连续分布的特征,建立了一种三线PSD定位模型,可以根据光斑的形状解算出该光斑特征状态下的定位误差.实验验证了该PSD定位模型的有效性.在激光三角测量法中采用该定位模型可以很好地补偿由于光斑自身不均匀性、传输过程中光斑尺寸变化以及激光与待测物体互作用产生的散斑所引入的定位误差,有效提高测量精度.实验中可以补偿的误差达到0.07 mm.

关键词：光电子学、光斑定位、三线模型、激光三角法、位置敏感探测器

所属期刊栏目：36

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家863计划2007AA01Z333;四川省科技攻关项目2006Z01-028;四川省学术和技术带头人培养基金07GRC-01资助课题

在线出版日期：2009-05-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：954-958