低密度台阶形闪耀光栅的制作

周常河底彩慧戴恩文贾伟

中国科学院上海光学精密机械研究所;

摘要：

介绍了制作低密度闪耀光栅的过程,在制作时,对传统的制作过程进行了改进,有效提高了制作质量.以40 μm闪耀光栅为例介绍了制作的过程,得到了良好的光栅表面形貌,并且闪耀级次的衍射效率达到了70%以上.相比传统的制作方法,效率提高了5%～10%.对比了理论上的衍射效率,分析了实验误差,发现把存在对准误差的光栅进行处理将会有效地提高其衍射效率,为进一步提高闪耀光栅的衍射效率提供了依据.

关键词：衍射与光栅、闪耀光栅、低密度、衍射效率

所属期刊栏目：35

分类号：O436.1(光学)

资助基金：上海市科委资助项目06SP07003;0652NM005

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：183-186