一种硅微机械谐振器的单光源激振测振方法

摘要：

提出一种用于硅微机械谐振传感器研究的单光源激振测振新方法,即微谐振器的激励及其谐振信号的测量使用同一光源.该方法采用全光纤斐索干涉仪结构,将干涉信号与光源强度变化信号进行运算后,通过选频技术解调出谐振器的振动信息,同时采用贝塞耳函数比值法扩大了振动幅度的测量范围,省去了一些难以获得准确数值的工作参数的计算.采用该方法实现了微悬臂梁结构形式的谐振器件的单光源激振与测振,获得了器件的谐振频率约为8.81 kHz以及谐振状态下的振动幅度约为135 nm.实验结果与采用其他双光源激振测振方法基本一致,新方法的可行性得到了验证.

关键词：测量、光学检测、硅微谐振器、单光源系统、光学激励

所属期刊栏目：33

分类号：TN32(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金60578051;上海市科委国际合作计划项目051107085

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1661-1664