强吸收衬底上薄膜厚度和折射率的测量新方法

摘要：

提出了一种同时测量强吸收衬底上薄膜厚度和折射率的方法.对生长于强吸收衬底上的透明薄膜,提出在该薄膜上镀一层薄金属,形成金属-薄膜强吸收衬底的类波导结构.由于小角度入射光在强吸收衬底上具有较强的反射率,使该结构可容纳一系列共振模.利用自由空间耦合技术和导出的共振模模式本征方程,同时确定透明薄膜的厚度和折射率.实验中测量了硅衬底上制备的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)薄膜的折射率和厚度,测量的相对误差均小于10-3.该方法具有简便、可靠、可测量任意折射率薄膜的优点.

关键词：薄膜、膜厚、折射率、类波导结构、强吸收衬底、自由空间耦合

所属期刊栏目：33

分类号：O4(物理学)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划60237010

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：959-962