纳米Mo膜的光学特性及最小连续膜厚研究

摘要：

利用Lambda-900分光光度计,在波长为310～1250 nm范围内测量了离子束溅射沉积不同厚度纳米Mo膜的反射率和透射率.选定波长为310 nm,350 nm,400 nm,500 nm,550 nm,632 nm,800 nm,1200 nm时对薄膜的反射率、透射率和吸收率随膜厚变化的关系进行了讨论.实验结果显示,纳米Mo膜的光学特性有明显的尺寸效应.提出将薄膜对光波长为550 nm时的反射率和透射率随Mo膜厚度变化关系的交点对应的厚度作为特征厚度,该厚度可认为是纳米Mo膜生长从不连续膜进入连续膜的最小连续膜厚.利用原子力显微镜(AFM)观测膜厚在15.76 nm时的表面形貌,此时表面形貌已呈现连续膜的特征.

关键词：薄膜、光学特性、尺寸效应、纳米Mo膜、最小连续膜厚

所属期刊栏目：32

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：广东省深圳市科技计划200319

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：977-981