用光谱法测试相位光栅层的厚度

摘要：

按傅里叶光学,当平面波通过光栅时,不同级次的衍射角和强度由光栅而定,根据光栅的衍射频谱可以反推出光栅本身的多种信息.一个新的方法就是选用不同级次的功率谱来测量相位光栅的深度.对3块光栅进行了测试,并给出计算的光栅深度.同时给出6块光栅的测试结果--多级衍射强度,结果表明误差值不大于5%.

关键词：相位光栅、测试、衍射谱

所属期刊栏目：31

分类号：O438.2(光学)

在线出版日期：2004-05-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：495-498