大功率CO2激光器光腔及控制系统设计

摘要：

分析了HGL-20型横流CO2激光器的腔式结构,论述了外桥内腔式结构、光腔精密调节系统对改善激光谐振腔稳定性的作用.分析了电源测控系统、光腔及功率测控系统、真空测控、自动充排气系统、温度测控系统、安全报警系统等设计特点以及这些因素对输出激光的稳定性和光束质量的影响.

关键词：激光技术、外桥内腔、PLC、智能控制

所属期刊栏目：31

分类号：TN242;TN248.2(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2004-05-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：338-340