新的质子源质子交换制作的Z切LiNbO3光波导特性

摘要：

研究了用己二酸和苯甲酸的不同混合摩尔比作为质子源交换制作的Z切LiNbO3光波导的表面折射率改变、波导深度、折射率分布等光学特性.结果表明,在交换温度为230℃,交换时间为6 h时,混合摩尔比较高时,波导为β4相;较低时,为β3相.在β4相时,混合摩尔比越大,波导的表面折射率改变和波导的深度越大;在β3相时,不同的混合摩尔比交换的波导光学特性差别不明显.用双晶X射线衍射法对单苯甲酸和混合摩尔比为60%制作的光波导进行X射线衍射.以上结果对波导器件的制作及理解波导折射率改变的物理机制提供了一些有用的信息.

关键词：导波光学、LiNbO3晶体、质子源、质子交换光波导、X射线衍射

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分类号：TN491;TN252(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：上海市科委资助项目012261026;上海市科技发展基金B-08

在线出版日期：2004-10-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1041-1044