用劳埃德镜干涉原理进行圆度误差测量

摘要：

提出一种应用线阵CCD自动测量圆度误差的新方法.论述了系统利用劳埃德镜干涉装置,通过线阵CCD图像处理系统自动测量圆度误差的工作原理及过程设计.测量结果表明,新的测量方法实现了圆度误差的实时精确在线测量.该测量系统具有一定的实用价值及较广阔的应用前景.

关键词：光学技术与仪器、圆度误差、激光干涉、劳埃德镜、CCD

所属期刊栏目：31

分类号：TG83(公差与技术测量及机械量仪)

在线出版日期：2004-09-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1013-1017