利用Mirau型相关显微镜进行面型检测的研究

摘要：

在Mirau型干涉仪的基础上,利用相关检测的原理,实现了Mirau型相关面型检测仪.通过该面型检测技术,克服了移相显微干涉(PSMI)面型检测系统中纵向分辨能力受衍射效应制约这一限制,正确测量了面型的纵向尺度.

关键词：相关显微镜、面型检测、纵向分辨能力

所属期刊栏目：26

分类号：TN2(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：706-710