高平均功率脉冲TEA CO2激光器输出光束质量评价

万重怡吴谨彭先兆谢文杰谭荣清

中国科学院空天信息研究院;

摘要：

在远至33 m处测量了高平均功率高重复频率TEA CO2激光器输出光束光强的远场二维分布,用M2因子理论对光束质量进行了评价,获得了该激光束腰斑半径、远场发散角、M2因子等参数.

关键词：TEA CO2激光器、光束质量、M2因子

所属期刊栏目：26

分类号：TN3(半导体技术)

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：589-593